Nämegurşun çipi? Onda onuň aýratynlyklary näme? LED çip öndürmek, esasan, täsirli we ygtybarly pes ohmik kontakt elektrodlaryny öndürmek, kontakt materiallaryň arasynda az naprýa dropeniýe düşmegini kanagatlandyrmak, simleri kebşirlemek üçin basyş enjamlaryny üpjün etmek we mümkin boldugyça ýagtylyk çykarmakdyr. Filmiň geçiş prosesi adatça wakuum bugarmak usulyny ulanýar. 4pa ýokary vakuum astynda material garşylykly ýyladyş ýa-da elektron şöhlesini bombalamak bilen gyzdyrylýar we bZX79C18 metal bugyna öwrülýär we pes basyşda ýarymgeçiriji materialyň üstünde goýulýar.

Adatça ulanylýan p görnüşli kontakt metal Aube, auzn we beýleki erginleri öz içine alýar we n-kontakt metal köplenç AuGeNi garyndysyny kabul edýär. Elektrodyň kontakt gatlagy we açyk garyndy gatlagy daşbasma prosesiniň talaplaryny netijeli kanagatlandyryp biler. Fotolitografiýa prosesinden soň, adatça H2 ýa-da N2 goragy astynda amala aşyrylýan garyndy prosesi arkaly bolýar. Eriş wagty we temperatura adatça ýarymgeçiriji materiallaryň aýratynlyklaryna we garyndy peçiniň görnüşine görä kesgitlenýär. Elbetde, gök we ýaşyl ýaly çip elektrod prosesi has çylşyrymly bolsa, passiw filmiň ösmegi we plazmany ýokaşdyrmak prosesi goşulmalydyr.

LED çip öndürmek prosesinde haýsy proses fotoelektrik öndürijiligine möhüm täsir edýär?

Umuman aýdanyňda, gutarandan soňLED epitaksial önümçilik, esasy elektrik aýratynlyklary gutardy we çip öndürmek ýadro tebigatyny üýtgetmez, ýöne örtük we eriş prosesindäki nädogry şertler käbir ýaramaz elektrik parametrlerine sebäp bolar. Mysal üçin, pes ýa-da ýokary erginli temperatura, ohm aragatnaşygynyň pes bolmagyna sebäp bolar, bu çip öndürmekde ýokary öňe çykýan naprýa .eniýe VF-iň esasy sebäbi. Kesilenden soň, çipiň gyrasynda käbir poslama prosesleri amala aşyrylsa, çipiň tersine syzmagyny gowulaşdyrmak peýdaly bolar. Sebäbi göwher ýylmaýjy tigir pyçak bilen kesilenden soň, çipiň gyrasynda has köp galyndy we poroşok galar. Bular LED çipiniň PN birikmesine ýapyşsa, elektrik syzmagyna we hatda döwülmegine sebäp bolar. Mundan başga-da, çipiň üstündäki fotorezist arassalanmasa, öň kebşirlemekde we ýalňyş kebşirlemekde kynçylyk döreder. Arka tarapda bolsa, ýokary basyşyň peselmegine hem sebäp bolar. Çip öndürmek prosesinde ýagtylygyň intensiwligi ýüzüni birleşdirip, tersine trapezoid gurluşyna bölmek arkaly gowulaşyp biler.

Näme üçin LED çipleri dürli ululyklara bölmeli? Ölçegiň LED fotoelektrik öndürijiligine nähili täsirleri bar?

LED çip ululygyny kuwwata görä pes güýçli çip, orta güýçli çip we ýokary güýçli çipe bölmek mümkin. Müşderiniň talaplaryna laýyklykda ony bir turba derejesine, sanly derejä, nokat matrisa derejesine we bezeg yşyklandyryşyna bölmek mümkin. Çipiň aýratyn ululygy barada aýdylanda bolsa, dürli çip öndürijileriniň hakyky önümçilik derejesine görä kesgitlenýär we hiç hili talap ýok. Amal geçýänçä, çip enjamyň çykarylyşyny gowulaşdyryp, çykdajylary azaldyp biler we fotoelektrik öndürijiligi düýpgöter üýtgemez. Çipiň ulanylyşy aslynda çipden akýan häzirki dykyzlyk bilen baglanyşykly. Çip kiçi bolanda, ulanyş tok az bolýar we çip uly bolanda ulanyş togy uly bolýar. Olaryň birliginiň häzirki dykyzlygy esasan birmeňzeşdir. Heatylylygyň bölünip çykmagy ýokary tok astynda esasy mesele bolup durýandygyny göz öňünde tutup, onuň ýagty netijeliligi pes tokdan pesdir. Beýleki tarapdan, meýdanyň artmagy bilen çipiň beden garşylygy peselýär, şonuň üçin naprýa oneniýede öňe gidişlik azalýar.

LED ýokary güýçli çipiň meýdany näme? Näme üçin?

Powerokary güýçli çiplerak çyra bazarda adatça 40mil töweregi. Powerokary güýçli çipleriň ulanylyş güýji adatça 1W-den gowrak elektrik güýjüne degişlidir. Kwant netijeliligi, umuman, 20% -den pes bolany üçin, elektrik energiýasynyň köp bölegi ýylylyk energiýasyna öwrüler, şonuň üçin ýokary güýçli çipiň ýylylyk ýaýramagy gaty möhümdir we çipiň uly meýdany bolmagy talap edilýär.

GaN epitaksial materiallary öndürmek üçin çip tehnologiýasy we gaýtadan işleýän enjamlar, GaAs we InGaAlP bilen deňeşdirilende dürli talaplar haýsylar? Näme üçin?

Ordinaryönekeý LED gyzyl we sary çipleriň aşaky bölekleri we açyk dört gyzyl we sary çipler, adatça n görnüşli substratlara öwrülip bilýän boşluk we GaA ýaly goşma ýarymgeçiriji materiallardan ýasalýar. Çygly amal litografiýa üçin ulanylýar, soň bolsa çipi kesmek üçin göwher ýylmaýjy tigir pyçagy ulanylýar. GaN materialynyň gök-ýaşyl çipi sapfir substratydyr. Safir substraty izolirlenenligi sebäpli, ony LED polýus hökmünde ulanyp bolmaz. Epitaksial ýüzünde p / N elektrodlary bir wagtyň özünde gury eriş prosesi we käbir passiwasiýa prosesleri arkaly ýasamak zerurdyr. Safir gaty kyn bolany üçin, göwher ýylmaýjy tigirli çipleri çekmek kyn. Onuň tehnologiki prosesi, adatça, boşlukdan we GaAs materiallaryndan ýasalan LED-den has çylşyrymly.

“Aç-açan elektrod” çipiniň gurluşy we aýratynlyklary näme?

Aç-açan elektrod diýilýän zat geçiriji we aýdyň bolmaly. Bu material indi suwuk kristal öndürmek prosesinde giňden ulanylýar. Onuň ady indiý galaýy oksidi, gysgaldylan ITO, ýöne lehim ýassygy hökmünde ulanylyp bilinmez. Fabricasama mahaly, çipiň üstünde ohmiki elektrod ýasalýar, üstünde ITO gatlagy örtülýär we ITO-nyň üstünde kebşirleýiş gatlagy örtülýär. Şeýlelik bilen, gurşundan gelýän tok ITO gatlagy arkaly her ohm kontakt elektrodyna deň paýlanýar. Şol bir wagtyň özünde, ITO-nyň refraktiw görkezijisi howanyň refraktiw görkezijisi bilen epitaksial materialyň arasynda bolany üçin, ýagtylyk burçy gowulaşyp, ýagty akym artyp biler.

Icarymgeçirijini yşyklandyrmak üçin çip tehnologiýasynyň esasy akymy haýsy?

Ondarymgeçiriji LED tehnologiýasynyň ösmegi bilen onuň yşyklandyryş pudagynda ulanylmagy barha köpelýär, esasanam ak LED-iň peýda bolmagy ýarymgeçiriji yşyklandyryşyň gyzgyn nokadyna öwrüldi. Şeýle-de bolsa, esasy çip we gaplama tehnologiýasy kämilleşdirilmeli. Çip nukdaýnazaryndan ýokary güýç, ýokary ýagtylyk netijeliligi we termiki garşylygy azaltmak üçin ösmeli. Kuwwatyň artmagy, çipiň ulanylyş tokynyň ýokarlanandygyny aňladýar. Has göni ýol, çipiň ululygyny köpeltmekdir. Indi umumy ýokary güýçli çipler 1mm × 1mm ýa-da ondanam köp, işleýän tok bolsa 350mA. Ulanyş tokynyň köpelmegi sebäpli ýylylygyň ýaýramagy meselesi esasy meselä öwrüldi. Indi bu mesele esasan çip süýşürmek usuly bilen çözülýär. “LED” tehnologiýasynyň ösmegi bilen onuň yşyklandyryş pudagynda ulanylmagy görlüp-eşidilmedik mümkinçilik we kynçylyk bilen ýüzbe-ýüz bolar.

Flip çip näme? Gurluşy näme? Onuň artykmaçlyklary näme?

Mawy LED adatça Al2O3 substratyny kabul edýär. Al2O3 substratynyň gatylygy we pes ýylylyk geçirijiligi bar. Resmi gurluşy kabul etse, bir tarapdan, anti-statiki meseleler getirer; beýleki tarapdan, ýokary tok astynda ýylylygyň bölünip çykmagy esasy meselä öwrüler. Şol bir wagtyň özünde, öňdäki elektrod ýokaryk bolany üçin, käbir yşyklar petiklener we ýagtylyk netijeliligi peseler. Powerokary kuwwatly gök LED, adaty gaplama tehnologiýasyna garanyňda, çip flip çip tehnologiýasy arkaly has täsirli ýagtylyk çykaryp biler.

Häzirki wagtda esasy flip çip gurluşynyň usuly: ilki bilen, ewtektiki kebşirleýiş elektrody bilen uly göwrümli gök LED çip taýýarlaň, gök LED çipinden birneme uly kremniy substraty taýýarlaň we altyn geçiriji gatlak ýasap, sim gatlagyny çykaryň ( ultramelewşe altyn simli lehim birleşmesi) üstünde ewtiki kebşirlemek üçin. Soň bolsa, ýokary kuwwatly gök LED çip we kremniniň substraty elektiki kebşirleýiş enjamlary bilen birleşdirilýär.

Bu gurluşyň häsiýeti, epitaksial gatlagyň kremniniň substraty bilen göni aragatnaşykda bolmagy we kremniniň substratynyň ýylylyk garşylygy sapfir substratyndan has pesdir, şonuň üçin ýylylygyň ýaýramagy meselesi gowy çözülýär. Safir substraty çişirilenden soň ýokaryk seredýändigi sebäpli, ýagtylyk çykýan ýüzüne öwrülýär we ýakut aç-açan bolýar, şonuň üçin ýagtylyk çykarmak meselesi hem çözülýär. Aboveokardakylar LED tehnologiýasy bilen baglanyşykly bilimlerdir. Ylmyň we tehnologiýanyň ösmegi bilen geljekdäki LED lampalaryň has täsirli boljakdygyna we hyzmat ediş möhletiniň ep-esli gowulaşjakdygyna, bu bize has amatly boljakdygyna ynanýaryn.